小型卷轴式等离子处理机（Schwarze PI-RTR）
型号：Schwarze PI-RTR
购入（安装）时间：2017年8月
主要性能和指标：
该等离子处理机是特别为处理连续切片自动收集所需的收集带定制的仪器。它可连接两种气体：GAS1、GAS2（压力0.3-0.8bar）不可接入腐蚀性气体；等离子处理射频电源功率：300W，设定示数：0-100%；等离子真空度：0.1-1mbar；卷轴膜长度，线速度：自定义可调；处理方式：自动、手动。
主要功能和服务范围：
用于为AutoCUTS提供亲水性的收集带，以及等离子清洗大样品（硅片）等。
当前位置：