一、系统主要配置与功能

1. 设备型号与主要配置

1.1 设备型号：Zeiss Crossbeam 550L

1.2 主要配置：In-lens SE探测器，In-lens BSE探测器，腔室内SE探测器，UNI-GIS气体注入系统，MULTI-PLATINUM气源

2. 关键技术指标

2.1 离子束分辨率：≤3nm@30KV（统计平均算法），离子源束流：1pA-100nA；

2.2 二次电子分辨率：≤0.7nm@15KV, ≤1.4nm@1KV（非样品台减速模式）

2.3 电子束电压调节范围（非着陆电压）：0.02-30KV，≤10V步长连续可调，无需模式切换；

2.4 单张图像存储分辨率：无需拼图最大可达32k x 24k像素，16位；

2.5 镜筒内具有静电透镜设计，保证样品室内无漏磁，可以对磁性样品直接成像观察，离子束连续切割加工同时进行电子束高分辨成像，无需来回切换，提供工作效率。

2.6 六轴马达样品台。样品台行程：X/Y≥100mm, Z≥50mm，T≥-4°- 70°，Z，≥13mm，R=360度；

2.7 腔室内扫描电镜冷台可以实现360°连续旋转和-3°- 45°的倾斜，用以调节样品和离子束镜筒的相对位置和角度；

二、 主要应用

1.常温树脂样品三维成像

2.常温切片样品成像